溶接を行う際に真空状態で行うと、気体分子などによるビームの拡散を防ぐことができます。
その結果、ビームエネルギーがほぼ100％溶接部品に伝わり、溶接によるひずみが非常に少なく精密な溶接が可能となったり、通常の溶接と比べて、狭い範囲での溶接も可能となります。
このような真空状態での溶接を可能としたのが、電子ビーム溶接と呼ばれるものです。
電子ビーム溶接は、陰極に熱を加えることで放出される熱電子を利用して溶接します。
電子ビーム溶接では、他の方法では溶接が不可能な高融点材料の溶接や、他の方法では困難な活性金属材料の溶接、異種金属材料なども可能となり、自動車関連部品や小型精密部品、プリンターヘッドなど様々なものに用いられています。